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镀金与电铸

  MEMS上大多堆积着厚厚的金属膜,镀膜经常使用比PVD和CVD成膜速度快的镀金和电铸技术。   有一种以湿法工艺由液相堆积金属等的镀覆技术。镀覆有电镀和化...[详细内容]