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他跟张忠谋学沟通扭转半导体规则

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来源: 商周杂志   发布者:商周杂志
热度44票   时间:2018年4月03日 06:26
台积电2017年第4季营收82%使用林本坚的技术

他改变了全球半导体产业技术路径,让老大哥英特尔(Intel)及设备商艾斯摩尔(ASML)、尼康(Nikon)等业内巨头,舍弃耗费逾十亿美元和数年的研究心力,跟着他与台积电一起转弯。不但全球半导体制程得以往下推进六到七个世代,约十四年时光,台积电也因此跻身一线大厂、主导业界规格。

他是中研院院士林本坚,台积电前研发副总经理。台积电董事长张忠谋曾称,假如没有林本坚及其团队,「台积电的微影(半导体关键制程之一)不会有今天这规模。」

退休后在清华大学担任特聘研究讲座教授的林本坚,近日出版他第一本半自传式著作,并与我们一起重温当年他是如何扭转乾坤。

林本坚在越南出生,至青春期才来台湾求学,说话语调细软,过去部属昵称他「Burn(其英文名)爷爷」。他待人和善,但对所相信的事物和理念,却不轻言退让。

他的提案,同业主管批搅局

「虽千万人,吾往矣!」林本坚如此形容他二○○二到○四年那改写历史的一役。

当时状况是这样的:随着半导体制程往下演进,关键制程之一的微影,也得持续缩短光束波长。一直以来,业界习惯以空气为媒介,是「干式」的微影,但此技术却已「撞墙」,在一百五十七纳米波长卡关。而当时任职台积电的林本坚却跳脱框架,退回一百五十七纳米波长的上一世代,改用水做为介质,发展出「浸润式微影」技术,让光束波长一举缩短至一百三十四纳米,突破瓶颈。

这样的破框思维,起初却是孤独,甚至遭受敌意。

因其他业者已投入共计逾十亿美元研发经费在干式显影上,接近当时台积电一整年的资本支出。林本坚的理论若被采用,等于宣告其他人前功尽弃。台积电前共同营运长蒋尚义为林本坚写序:「(当年)确实有大公司的高层主管表达严重关切,希望我能管管他(林本坚),不要搅局。」


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