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华力12英寸厂搬入大陆最先进ASML光刻机

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来源: 集微网   发布者:茅茅
热度63票   时间:2018年5月21日 10:50

集微网上海报道 记者 茅茅

5月21日上午,在上海浦东新区康桥工业园南区,由华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目(以下简称“华虹六厂”)实现首台工艺设备——光刻机搬入。

据悉,此次搬入的首台工艺设备为荷兰阿斯麦公司的NXT 1980Di光刻机,是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。
据集微网了解,近日陆续有多台ASML 的设备运入中国大陆晶圆制造厂。其中,中芯国际的已经购入首台价值1.2亿美元的ASML EUV设备;长江存储的首台光刻机也已运抵武汉天河机场,这台光刻机为ASML的193nm浸润式光刻机,售价7200万美元用于14nm~20nm工艺。

华力12英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目,总投资387亿元人民币,将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线,工艺覆盖28-14纳米技术节点。项目计划于2022年底建成达产,主要从事逻辑芯片生产,重点服务国内设计企业先进芯片的制造,并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求。(校对/刘洋)


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