芯科技消息(文/西卡),为加速摆脱日本,韩国政府出资的研究机构携手民间企业,成功开发半导体涂层原料,该原料目前100%仰赖日本进口。
日韩贸易纠纷加剧之下,韩国吹起一股技术自立风潮,政府大举列预算之外,也大力推动官民合作。据《韩联社》29日报道,韩国国家核融合研究所成功研发热熔射涂层原料氧化钇,该原料即使在细微粉末状态也不会凝结,是韩国企业首度成功制造的案例。
氧化钇是半导体制程中必备的原料之一,韩国半导体制造企业目前完全仰赖日本进口。在热熔射涂层制程中,氧化钇会以粉末状喷涂在半导体零件表面,提高半导体零件耐热、耐久性。
韩国应用核融合等离子技术制造出氧化钇。该技术能控制粉末间的反弹力,避免粉末凝聚,使原料质量更加精密、平均。韩国也以此开发出制造25微米(㎛)以下的高质量的涂层热熔射涂层。
《韩联社》强调,韩国通过核融合技术,使产品的粒子大小、流动等方面超越日制产品。主导此次开发的洪勇哲(音译)博士表示,等离子技术不只能应用在半导体制程中,也能活用于各个产业,未来也将活用此技术,持续推动国产化研究。(校对/Jurnan)
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