华润微电子“高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用”项目获国家科技进步二等奖

作者：爱集微

2020-01-13

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华润微电子“高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用”项目获国家科技进步二等奖

来源：华润微电子芯闻号

1月10日，国家科学技术奖励大会在北京举行，华润微电子有限公司旗下无锡华润上华科技有限公司（以下简称“华润上华”）参与的“高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用”项目获国家科学技术进步奖二等奖。

该项目由东南大学、江苏英特神斯科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司三家单位合作完成。项目成果针对中国微机电系统（MEMS）产业链关键技术问题，系统研究开发了MEMS设计技术与设计工具、制造工艺和在线检测以及高性能压力传感器技术，推动了中国MEMS技术的产业化发展。

该成果形成了高精度硅各向异性腐蚀模拟、厚胶光刻工艺模拟、工艺流程模拟等11个软件模块，实现了商业化，国内用户40余个，远销美国、日本等。关键技术已应用于华润上华规模化生产线，形成批量生产能力并为国内外用户代工超过10万片，支撑了压力传感器系列、麦克风系列等MEMS器件生产，产品已在智能电子、工业控制、环境监测等领域广泛应用。

在该项目中，华润上华具体开发了MEMS表面加工、体加工、键合加工等成套制造工艺技术及检测技术，优化了制造工艺及流程，实施了MEMS生产制造工艺、在线检测技术以及代工服务。硅基MEMS制造工艺模拟及工艺优化技术大大减少了工艺条件和参数的反复试验，降低了工艺开发成本并优化了工艺条件及其流程，缩短了制造工艺开发周期。

“MEMS有极强的应用渗透力，但是中国的MEMS产业化发展较慢，设计与制造核心技术被国外垄断。”华润上华副总经理苏巍表示，“我们乐见公司在MEMS领域耕耘多年的成果，也非常乐于继续携手产业链伙伴为实现MEMS的国产化而努力。目前，华润上华MEMS工艺技术正依计划由成熟的6英寸向8英寸转移，期待能为更多IC设计公司提供MEMS产品服务。”

关于华润微电子有限公司（China ResourcesMicroelectronics Limited (“CR Micro”)

华润微电子是中国领先的拥有芯片设计、晶圆制造、封装测试等全产业链以IDM模式为主运营的半导体企业，自2004年起，华润微电子连续被工信部评为中国电子信息百强企业。公司主营业务分为产品与方案、制造与服务两大业务板块，目前已形成无锡、上海、重庆和深圳协同发展的多区域业务布局，在主要的业务领域均掌握了一系列具有自主知识产权、技术水平国内领先的核心技术。公司聚焦于功率半导体、智能传感器领域，为客户提供系列化的半导体产品与服务，矢志成为世界领先的功率半导体和智能传感器产品与方案供应商。

关于无锡华润上华科技有限公司 (CSMC TechnologiesFab2 Co., Ltd.)

无锡华润上华科技有限公司为华润微电子有限公司（“华润微电子”）旗下从事开放式晶圆代工业务的专业公司，于中国模拟晶圆代工行业处于领先地位，于中国及海外地区拥有逾二十年服务客户的经验。公司为其客户提供主流和成熟工艺技术的晶圆代工服务，是目前中国内地特种工艺平台的主要提供者，公司拥有8英寸月晶圆产能6.5万片，6英寸月晶圆产能逾21万片，可为客户提供更丰富的工艺平台与代工服务。