广州增芯项目今日搬入光刻机，顺利进入调试投产准备阶段

作者：韩秀荣

03-11 21:14

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3月11日上午，广州增芯科技有限公司12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目（以下简称“增芯项目”）在广州增城开发区举行光刻机搬入活动，这标志着增芯项目迎来项目建设的关键性节点，顺利进入调试投产准备阶段。

据羊城派报道，据了解，该项目预计今年6月份将完成首批设备安装，今年12月底完成第一个有良率的产品下线。广州增芯科技有限公司总经理张亮表示，目前国产装备在增芯一期项目里的使用占比超过了35%，希望在二期投产的时候能达到一半以上。

增城开发区投资促进局消息显示，2023年9月20日，增芯12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目正式封顶。项目总投资达370亿元，分为两期规划，占地面积达370亩，一期达产后预计产能2万片/月。项目由广州增芯科技有限公司进行投资，拟建设半导体晶圆制造厂，主要生产12英寸工艺产品，产品应用领域为传感器、模拟芯片和汽车电子等。

据广州日报报道，该项目自2022年底动工起，仅用9个月零6天完成自桩基启动至主厂房封顶建设，实现了“开工一年装机”，封顶至今仅5个月多月便迎来了生产线最核心的装备——光刻机。（校对/赵碧莹）