芯达半导体完成数千万投资，聚焦涂胶显影设备赛道

作者：集小微

11-15 19:41

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据鲸芯投资消息，近日，芯达半导体设备（苏州）有限公司（简称“芯达半导体”）完成本轮数千万投资，由鲸芯投资领投。

芯达半导体设备（苏州）有限公司致力于半导体前道制程—涂胶显影设备的研发和制造，主要产品为半导体光刻工艺用胶涂胶显影机（track）。该公司技术领域涉及涂胶、显影、喷胶、单片湿法清洗、单片刻蚀。

芯达半导体技术团队拥有超二十年半导体核心技术领域研发实力和丰富的设备工程化落地经验，目前该公司已完成首台12英寸量产型涂胶显影设备的发货，电控系统及系统调度软件为国内唯一自主开发，拥有完全自主知识产权。同时具备底层零部件开发能力，已成功自研自产光刻胶胶泵、机械手臂、氮化铝/碳化硅等高精密陶瓷加热盘。

鲸芯投资消息显示，从涂胶显影机的整体架构到各个单元零部件，芯达半导体的产品已全面实现国产化，并提供从整机到工艺解决方案的全方位服务。

涂胶显影设备在半导体制造环节中扮演着重要角色，与光刻机紧密配合，完成光刻环节的全部流程，既用于最先进的晶圆制造，也用于先进封装。

今年6月6日，芯达半导体设备（苏州）有限公司与吉林求是光谱数据科技有限公司合作签约，这是国产前道涂胶显影设备首次进入OCF国际供应链，标志着可视化芯片彩色光刻胶涂胶工艺设备国产化实现“零突破”，进一步加速推进半导体关键核心装备国产化替代。