【芯视野】FinFET的“终结者”来了？
2020-03-16
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1.【芯视野】FinFET的“终结者”来了？
2.中微公司两个半月获政府补贴1.37亿元，占去年净利润的72%;
3.星星科技又现“迷之操作”，拟不超16亿收购江西星星48.75%股权;
4.台湾新竹传首例确认病例 引各大厂商积极戒备;
1.【芯视野】FinFET的“终结者”来了？
集微网报道（记者 艾檬）一切历史都是当代史。
如果说在2019 年年中三星宣称将在2021年推出其“环绕式栅极（GAA）”技术取代FinFET晶体管技术，FinFET犹可淡定；而到如今，英特尔表示其5nm制程将放弃FinFET而转向GAA，就已有一个时代翻篇的迹象了。三大代工巨头已有两大厂商选择了GAA，作为代工老大的台积电路线虽“按兵不动”，但似乎已无悬念，FinFET真的走到历史的终结了吗？
FinFET的荣光
毕竟当FinFET以“拯救者”的形象登场时，它承载着摩尔定律持续向前攻伐的重要“使命”。
随着制程工艺的升级，晶体管的制造愈加困难。1958年的第一个集成电路触发器仅由两个晶体管构建而成，而如今芯片已包含超过10亿个晶体管，这一动力来自于摩尔定律指挥下的平面硅制造工艺的不断进阶。
而当栅极长度逼近20nm大关时，对电流控制能力急剧下降，漏电率相应提高，传统的平面MOSFET结构看似走到“尽头”。业界大拿胡正明教授提出了两种解决途径：一种是立体型结构的FinFET晶体管，另一种是基于SOI的超薄绝缘层上硅体技术FD-SOI晶体管技术。
FinFET和FD-SOI使摩尔定律得以延续传奇，之后两者却走出了不同的发展道路。FinFET工艺先拔头筹，英特尔最早于2011年推出了商业化的FinFET工艺技术，显著提高了性能并降低了功耗，之后台积电采用 FinFET 技术亦取得了巨大的成功，随后FinFET大放异彩，成为全球主流晶圆厂的“不二”选择。
相较之下，FD-SOI工艺似乎一直活在FinFET的阴影中。尽管其工艺漏电率低，功耗亦有优势，制成的芯片在物联网、汽车、网络基础设施、消费类等领域均有用武之地，加上三星、格芯、IBM、ST等巨头的力推，在市场业已打开了一片天地。但业内资深人士指出，由于其衬底成本高，越往上走的尺寸越难以做小，最高水平最多走到12nm，后续难以为继。
尽管FinFET在“二选一”的对垒中先声夺人，但伴随着物联网、人工智能、智能驾驶等应用对IC提出了全新挑战，尤其是FinFET的制造、研发成本越来越高，FinFET虽到7nm及5nm犹能高歌猛进，但工艺历史的流向似已然注定再次“转向”。
为何是GAA？
随着三星率先“垂范”，以及英特尔的跟进，GAA已俨然成为接棒FinFET的新贵。
与FinFET的不同之处在于，GAA设计通道的四个面周围有栅极，减少漏电压并改善了对通道的控制，这是缩小工艺节点时的基本步骤。通过使用更高效的晶体管设计，加上更小的节点，将能实现更好的能耗比。
资深人士对此也提及，工艺节点不断前进的动能在于提升性能、降低功耗。而当工艺节点进阶到3nm时，FinFET经济已不可行，将转向GAA。
三星就乐观认为，GAA技术相比7nm制程能够提升35%的性能、降低50%的功耗以及45%的芯片面积。据悉，搭载此项技术的首批3nm三星智能手机芯片将于2021年开始批量生产，而对于性能要求更高的芯片如图形处理器和数据中心的AI芯片将于2022年量产。
值得注意的是，GAA技术也有几种不同的路线，未来的细节有待进一步验证。而且，转向GAA无疑涉及架构的改变，业内人士指出这对设备提出了不同的要求，据悉一些设备厂商已在开发特殊的刻蚀、薄膜设备在应对。
新华山论剑？
在FinFET市场，台积电一支独秀，三星、英特尔在奋力追赶。如今看来GAA已箭在弦上，问题是胶着的“三国杀”又会呈现怎样的此消彼长？
从三星的语境来看，三星自认押注的GAA技术领先对手一两年，将在这一领域奠定和保持其先发优势。
但英特尔亦是雄心勃勃，意在GAA上重夺领导地位。英特尔宣称将在2021年推出7nm制程技术，并将在7nm制程的基础上发展5nm。业内估计最快2023年就能初见其5nm工艺“真容”。
尽管三星是GAA技术的领头羊，但考虑到英特尔在工艺技术上的实力，其GAA工艺性能提升或更趋明显，而英特尔也要自省不再走10nm工艺的“长征”之路。
以往踌躇满志的台积电此次反而异常低调与谨慎，尽管台积电宣称2020年准备量产的5nm制程依旧采用FinFET工艺，但预计其3nm工艺将于2023年甚至会提前至2022年量产，只是尚未公布预计的制程方式。根据台积电官方的说法，其3nm相关细节将在4月29日的北美技术论坛上公布。届时，台积电又会祭出怎样的奇招呢？
GAA的战役已然硝烟四起。
（校对/Lau）
2.中微公司两个半月获政府补贴1.37亿元，占去年净利润的72%;
集微网消息，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）日前发布公告称，公司自 2020 年 1 月 1 日至 2020 年 3 月 13 日，累计获得政府补助款项共计人民币 136,828,410.20 元，其中，与收益相关的政府补助为人民币 11,828.47 万元,与资产相关的政府补助为人民币 1,854.37 万元。
根据中微公司发布的2019年度业绩快报显示，公司2019年实现营收19.47亿元，同比增长18.77%；实现净利润1.89亿元，同比增长107.51%。而从2020 年 1 月 1 日至 2020 年 3 月 13 日累计获得政府补贴1.37亿元，占中微公司2019年全年净利润的73%。
中微公司是国内集成电路设备行业的领先企业，目前开发的产品以集成电路前道生产的等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备等关键设备为主，并已逐步开发应用于后道先进封装、MEMS、MiniLED、MicroLED等领域的泛半导体设备产品，公司设备已经应用在台积电、中芯国际、海力士、长江存储等客户产线中。
值得提及的是，长江存储去年年底开始规模化采购半导体设备，2020年，中微公司成功中标长江存储9台刻蚀设备订单，并中标中芯绍兴IGBT产线2台刻蚀设备。（校对/Lee）
3.星星科技又现“迷之操作”，拟不超16亿收购江西星星48.75%股权;
集微网消息，去年年初，几近崩盘的星星科技实控人援引地方资本支持，与萍乡范钛客网络科技有限公司（以下简称“萍乡范钛客”）签署了《股份收购协议》，萍乡范钛客以4.88亿元受让星星科技14.90%股权，并成为公司第一大股东。
如今缓过来的星星科技开始筹备重组。3月15日晚间，星星科技发布公告，拟以发行股份和支付现金方式购买控股子公司江西星星科技有限责任公司（下称“江西星星”）48.75%股权，并募集配套资金，交易作价不超过16亿元，预计将构成重大资产重组，公司股票自2020年3月16日开市时起开始停牌。
星星科技披露，本次交易对方为江西星星股东萍乡市汇丰投资有限公司及关联方萍乡市汇盛工业投资管理有限公司等（萍乡市汇丰投资有限公司所持江西星星股权目前正在进行无偿划转至萍乡市汇盛工业投资管理有限公司）。
目前，星星科技持有江西星星51.25%股份，萍乡市汇丰投资有限公司持有江西星星48.75%股份。而星星科技作为作为国内二线触控显示模组及精密结构件供应商，公司业绩长期欠佳，此次为何要斥资收购子公司全部股权？
据悉，并购标的江西星星从事科技类产品领域内的技术开发、技术服务；光学镜片、玻璃制品、视窗防护屏、触摸屏及触控显示模组、液晶显示屏、等离子显示屏、平板显示屏、立体显示屏及显示屏材料、电子结构件及相关材料、电子产品及配件、通信终端设备及配件设计、研发、生产及销售等业务。
财务数据显示，2019年半年度，江西星星实现营业收入3.2亿元，净利润194.94万元，盈利能力堪忧，主营业务对星星科技的营收贡献并不大。
根据星星科技2019年年报指出，公司去年营收增长是得益于聚焦视窗防护屏高端产品、非手机触控显示、精密塑胶结构件产品的带动；而此次星星科技筹划不超16亿收购盈利能力堪忧的江西星星48.75%股权更是一场“迷之操作”。（校对/GY）
4.台湾新竹传首例确认病例 引各大厂商积极戒备;
台湾科技业重镇新竹县传出首例新冠肺炎确诊案例，新竹县政府昨（15）日发布新闻稿说明，该案为“境外移入个案”且“非新竹县民”，但仍引起科技人高度关注。科技大厂为此进一步强化防疫措施，包含禁止、减少非必要出差，居家上班等。
台湾疾管署昨天公布严重特殊传染性肺炎( COVID-19），新竹县有一例确诊病例，在大新竹科技人社群间引发热烈讨论。科技厂商纷纷提升防疫规范，务求防阻疫情波及公司运作与员工健康。（鸿海设关爱小组 确保零感染）
新冠肺炎疫情全球延烧，科技厂员工赴欧洲出差染疫个案频传，科技业在国际大厂英特尔传出今（16）日起全球实施员工可自由选择在家上班政策之外，台湾科技大厂也都严阵以待，加强企业内的防疫措施因应。
经济日报提供
科技指标厂台积电昨日说明，早就禁止所有人员出差，改以视讯方式避免面对面接触；鸿海昨日也说明，缩减非必要出差或要求员工配合疾管署旅游警示勿前往疫区与自主隔离、强化防疫。
因应各国疫情蔓延，群创也提前部署，针对不同等级采取相对应的防疫措施，例如分组动线，居家办公的规划与演练，以因应疫情升高预先做准备。
至于位于新竹科学园区的设备厂昨日也表示，虽然该个案似乎位于竹北，距离竹科仍有一段距离，但各公司也加强防疫作业。
对于疫情，新竹县政府卫生局局长殷东成表示，该案系为“境外移入个案”且“非新竹县民”，将依传染病个案管理归户原则，要求更正资料。
殷东成表示，该案因公出差欧洲国家，返国时即全程戴口罩，且由专人载送至个案选择单人的空间自主健康管理场所，并落实自主健康管理及隔离措施。该案于3月11日出现咳嗽有痰、喉咙痛等症状，于当日晚间就医后采检通报，且遵守隔离规定没有外出，并于3月13日确诊，目前收治负压隔离病房。
他说，已初步掌握该确诊病例接触者共二人，并居家隔离管理中，请民众不必恐慌。
台元科技园区管理服务中心表示，在防范疫情措施方面，已先后针对园区加强消毒，严控访客及外送人员进入管理。
今日起将针对园区内餐厅，实施撤掉部份桌椅，拉开员工用餐距离，以落实防疫。
竹科管理局局长王永壮强调，竹科厂商原本就对防疫展开因应措施，并不会因为新竹地区没有案例而不作为。
另外，依据卫福部公布的企业营运指引，厂商订有营运持续规划，包括管理局也不例外。若是真的不幸疫情大流行，会启动异地办公或其他紧急应变措施，让营运不至于中断。经济日报
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