G6 AMOLED 湿法刻蚀机通过认证，苏州晶洲装备再获江苏首台重大装备殊荣

集微网消息（文/春夏）近日，有消息称，苏州晶洲装备科技有限公司（以下简称“晶洲装备”）G6 AMOLED湿法刻蚀机成功入选2018年江苏省首台（套）重大装备及关键部件。

（图片来源：晶洲装备官网）

这也是晶洲装备在2014年柔性显示材料清洗设备获得首台荣誉之后，再获殊荣。

作为首台（套）重大装备，江苏省政府将进行保费补贴扶持，为首台套重大装备的稳定运行与操作安全保驾护航，保险装备出现零部件、元器件损坏或失效、修理、更换、退货，并由此引起的鉴定费用、运输费用、交通费用以及保险装备出现的责任范围内事故造成第三者责任等皆有保险公司赔付。

据悉，晶洲装备自行开发设计生产的“G6 AMOLED 湿法刻蚀机”，主要应用于G6 AMOLED平板显示制程的阵列（Array）段，其原理是利用化学的方法对经过曝光与显影后的基板表面金属膜层进行均匀刻蚀，进而形成光刻定义的电路图，是刻蚀工艺的核心载体设备。晶洲装备率先研制了极紫外表面改性系统、刻蚀药液溶度控制系统、高速药液置换系统等，并将其应用于“G6 AMOLED 湿法刻蚀机”，实现刻蚀过程的高度均匀性及稳定性。该项目共形成知识产权21项，其中，获得授权发明专利2项，实用新型专利13项。

公司官网显示，2011年，晶洲装备成立，并以光伏为起点开展业务，同年开发成功了行业首台背抛光刻蚀清洗机。如今产品主要面向平板显示、光伏、半导体等行业提供高精密清洗、湿法刻蚀、湿法剥离、湿法显影等高端湿制程设备。（校对/小北）