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打破国外长期垄断,长春光机所1.5米扫描干涉场曝光系统通过验收

来源:爱集微

#长春光机所#

#光刻#

2020-09-03

集微网消息,2020年8月24-25日,国家自然科学基金委员会信息学部在长春组织专家对国家自然科学基金国家重大科研仪器设备研制专项“1.5米扫描干涉场曝光系统”进行了项目验收。 

图片来源:长春光机所

专项研制的仪器设备包括一台1.5米扫描干涉场曝光系统及四台制作全息光栅所需的辅助工艺设备。

该项目主要面向高能拍瓦激光输出技术、激光惯性约束核聚变研究及高端光刻机产业等战略高科技领域对大面积全息光栅的迫切需求,研制了1.5米扫描干涉场曝光系统,其目标是具备以步进扫描多线曝光方式制作500mm×1500mm全息光栅的能力。经过7年的攻关,项目组通过解决和突破长程重载工作台超精密定位、曝光干涉场超精密测量及相位锁定等十几项基础问题和关键技术,研制出了拥有制作最大面积650mm×1700mm单体无拼缝全息光栅能力的扫描干涉场曝光系统。

该项目的顺利实施与验收,标志着我国具备了独立制作米级单体无拼缝全息光栅的能力,打破了由国外长期垄断的局面,对高能激光、可控核聚变、高端光刻等领域的技术与产业推进具有重大的战略意义。(校对/若冰)

责编: 若冰

小如

作者

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