聚焦精密光电制造技术发展，长春光机所获批中国科学院精密光电制造技术工程实验室

作者： 图图 2020-09-18
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集微网消息，中科院长春光机所消息显示，9月16日，中国科学院印发了《中国科学院关于设立天然活性多肽等10个中国科学院工程实验室的通知》，长春光机所作为依托单位获批建设“中国科学院精密光电制造技术工程实验室”。

据介绍，长春光机所将面向国家制造业需求，聚焦精密光电制造技术发展，着力推进精密光电制造技术领域的工程技术创新研究，培养一批精密光电制造技术领域的高水平工程师人才，并力争建设国家级创新中心，打造国际先进水平的精密光电制造技术研究平台。

今年8月份，长春光机所1.5米扫描干涉场曝光系统通过验收。

据了解，项目组通过解决和突破长程重载工作台超精密定位、曝光干涉场超精密测量及相位锁定等十几项基础问题和关键技术，研制出了拥有制作最大面积650mm×1700mm单体无拼缝全息光栅能力的扫描干涉场曝光系统。（校对/若冰）

责编： 韩秀荣
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