盛美半导体首台清洗设备入驻芯物科技12英寸中试生产线

集微网消息，盛美半导体消息显示，6月7日，上海芯物科技有限公司（以下简称“芯物科技“）12英寸中试生产线工艺设备搬入仪式举行，盛美半导体首台清洗设备入驻芯物科技。

图片来源：盛美半导体

图片来源：盛美半导体

据悉，盛美半导体此次进驻芯物科技的设备为前道刷洗设备，该设备采用单片腔体对晶圆正背面依工序清洗，可进行包括晶圆背面刷洗、晶圆边缘刷洗、正背面二流体清洗等清洗工序。

盛美半导体成立于2005年，是一家专注于单片晶圆清洗设备、电镀铜设备、先进封装湿法设备研发及生产的公司，主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等。

企查查显示，芯物科技成立于2017年，股东包括：上海新微技术研发中心有限公司、中电海康集团有限公司、格科微电子（上海）有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、杭州士兰微电子股份有限公司、郑州炜盛电子科技有限公司等，经营范围涉及从事半导体技术、传感器技术、光电技术、计算机技术、物联网技术、电子技术领域内的技术开发，知识产权代理（除专利代理），集成电路设计、测试、维护，设计、制作等。（校对/若冰）