至纯晶圆再生项目举办量产仪式，总投资10亿元

集微网消息，今日，至纯科技合肥至微项目在新站高新区举行量产仪式，该项目投资约10亿元，包括晶圆再生和半导体部件再生。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司成立于2000年，致力于半导体设备、半导体工艺系统以及相关专业服务，2017年初在上交所上市。合肥至微半导体有限公司，是至纯科技旗下半导体晶圆再生和部件再生项目的载体，为集成电路企业12英寸晶圆提供晶圆再生及零部件再生服务。

晶圆再生指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷，使处理后的晶圆达到新片的标准，实现其循环再利用，进而为企业节约大量成本。至微项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础，是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线。项目全面达产后，可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力，满产后年产值至少可超过6亿元。

至纯集团董事长蒋渊表示，至纯的晶圆再生业务在今年3月就已开始试生产，将于本月正式量产，企业将重研发，抓质量，立志成为国内领先的半导体工艺装备材料提供商，代表本土品牌参与国际竞争。

新站高新区党工委书记、管委会主任王连贵在致辞中指出，将继续主动为企业提供精准服务，支持企业发展，促进项目量产后尽早达产满产，推动合肥集成电路产业更加高质量发展。

近年来，合肥已成为国内集成电路产业发展最快、成效最显著的城市之一，而新站高新区则是合肥市“芯屏”产业的“主阵地”，已成为全国规模最大、技术方向最齐全的新型显示产业基地。随着合肥至微项目1期的量产，新站成为满足“晶圆再生”需求的重要基地，也为合肥市集成电路产业高质量发展注入了新的动力。（校对/七七）