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台积电最先进5nm工厂发生氧气污染,iPhone13或受影响

来源:经济日报

#台积电#

07-31 07:11

拥有全球最先进制程的 但据供应链透露,截至昨天傍晚,台积电厂务忙成一团,全力清理受污染的氧气槽,估计需花费三到四个工作日才能让生产作业恢复正常水准。

这也是台积电南科厂区在二○一九年一月发生光阻剂污染事件后,南科厂区再度爆发制程受污染事件,且都是发生在最先进制程的主要生产重镇,供货对象都是国际知名大厂,事件后续备受关注。

台积电发言体系昨天表示,南科十八a部分厂区来自厂商供应的气体疑似受到污染,但已即时调度其他气体供应。台积电强调,「为确保生产品质无虞,目前正进行严密后续作业。此事件目前已知对营运并无造成显著影响,后续将持续追踪。」

不过,供应链消息证实,截至昨天下午,台积电南科十八a厂仍全力进行氧气槽清理作业,且将供应商全数挡在门外,由于氧气是

半导体业者表示,半导体制程高达七百多道,约有二百七十道需使用氧气,涵盖蚀刻、物理及化学研磨,几乎都是核心制程,且南科十八a是台积电最先进五纳米核心制程,目前生产项目又是苹果下世代五G手机要用的核心处理器和超微新一代处理器,此刻事件可说是直中要害。

台积电昨淡化此事,强调未造成显著影响。但据调查,清理氧气槽需花费三到四天,且产线停摆范围相当大,相关设备供应商也被通知待命,配合全力抢救,以利尽速让产线恢复。

目前还无法确认台积电十八a厂此次因氧气污染造成的损失,但相关供应商已被通知今日起减量供货,预料影响不轻,但实际影响有待台积电进一步说明。

台积电二○一九第一季发生光阻液受污染,受影响客户包括苹果、高通、辉达、超微、海思、联发科等重量级客户,并造成单季营收短少五点五亿美元,毛利率减少二点六个百分点。这次十八a厂重要性更高,是台积电生产五纳米核心厂区。



责编: 爱集微

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