上大微电子学院研究生正式在8英寸MEMS中试线实习

作者：赵月 2021-08-16

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来源：爱集微 #微电子学院#

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集微网消息，今年6月，上海微技术工业研究院资助上海大学8英寸MEMS中试线每年四分之一总机时，用于微电子学院教学实践，为期五年。

图源：上观新闻

据上观新闻最新报道，这个暑假，上海大学微电子学院十余名研究生已正式在上述MEMS中试线实习，学习集成电路制造工艺、在导师指导下参与创新项目。

据悉，工研院的8英寸MEMS中试线于2017年9月投入运营，是国内首条、国际领先的MEMS中试线。

公开资料显示，上海大学微电子学院成立于2019年11月，为上海大学与上海微技术工业研究院、中国科学院上海分院、嘉定区政府、集成电路全产业链创新企业共建，积极探索新机制，集聚社会优质资源，打造上海大学国际领先的集成电路超越摩尔人才培养高地。其前身是1958年嘉定校区成立的半导体器件与物理专业，历经60年发展，目前已形成本科基础教学和研究生多学科培养特色，以及多学科融合交叉的研究基础。（校对/七七）