涂胶显影设备获得多个大客户订单 芯源微H1营收净利均同比增长超4倍

集微网消息 8月27日，芯源微发布半年度业绩报告称，2021年上半年，公司实现营收3.5亿元，同比增长461.85%；归属于上市公司股东的净利润3507万元，同比增加464.05%。

芯源微称，公司前道涂胶显影设备通过在客户端的验证与改进，在多个关键技术方面取得突破，技术成果已应用到新产品中。公司该类设备陆续获得了上海华力、长江存储、武汉新芯、中芯绍兴、厦门士兰集科、上海积塔、株洲中车、青岛芯恩、中芯宁波、昆明京东方等多个前道大客户订单。

而其前道Spin Scrubber 清洗机设备目前已达到国际先进水平，成功实现进口替代，已经在中芯国际、上海华力、厦门士兰集科等多个客户处通过工艺验证，并获得国内多家Fab厂商的批量重复订单。

目前，芯源微生产的涂胶显影设备与单片式湿法设备，已经从先进封装领域、LED领域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特种工艺等领域，下游客户覆盖国际知名 Fab厂台积电，国内一线大厂包括长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌、中芯宁波等，以及国内特种工艺代表企业，包括厦门士兰集科、中芯绍兴、上海积塔等。

截至目前，芯源微生产的用于集成电路前道晶圆加工领域及后道先进封装、LED、MEMS、化合物、功率器件、特种工艺等领域的涂胶显影设备和单片式湿法设备已累计出厂1000余台套。

芯源微表示，公司坚持以市场方向和客户需求为导向，不断对产品进行技术完善和革新，持续加大自主研发力度，报告期内研发支出4,939.76万元，占营业收入的14.08%。

截至2021年6月30日，芯源微共获得专利授权212项，其中发明专利159项（其中中国大陆地区发明专利143项，中国台湾地区发明专利14项，美国发明专利2项），实用新型专利 31项，外观设计专利22项；拥有软件著作权49项。（校对|Lee）