至纯科技H1净利润增长近4倍 整体业务新增订单17.2亿元

集微网消息 8月30日，至纯科技发布半年度业绩报告称，2021年上半年，公司实现营业收入为9.20亿元，同比增长76.51%，归属于上市公司股东的净利润1.50亿元，同比增长395.51%。

截至报告期末，至纯科技整体业务新增订单达到17.2亿元，达到去年全年新增订单的88%。报告期新增订单中，整个半导体板块新增订单14.2亿元，其中湿法设备新增订单4.3亿元，达到上一年度全年湿法设备订单的85%，湿法设备订单中单片设备新增订单2亿元。公司半导体业务继续行驶在发展快车道上。

其中，至纯集成获得了 9.8 亿元的新增订单，一线用户持续产能的扩展给予公司持续的业务订单。高纯工艺系统不是普通的配套类系统，而是和制程设备连为一体的工艺支持系统，其中尚有几个介质系统在先进制程产线依然以进口为主。

2017-2019 年，至纯科技将有限的资源重点投入到湿法设备的研发中，2020年资源稍缓解即在至纯集成也开始投入资源开启新的研发。经过2020年的研发投入，半导体级先进前驱体物料供应系统（LDS）已研发完成，并接到核心客户的首台订单，将于2021年3季度搬入上线测试进入验证阶段；今年上半年，干式特殊气体排放处理设备（Dry Scrubber）通过多个12寸半导体工厂验证，并在6个月内获得超过80台设备的订单；首个服务于12寸半导体的电子级大宗气工厂处于建设高峰中，主要设备开始搬入，预计在2021年3季度进入调试，年底投入运行。

值得一提的是，此电子级大宗气工厂采用现场制气的方式在未来的10~15年向先进制程客户持续供应电子级氢气、氮气、氧气。报告期内，至纯集成已经启动半导体制程设备侧气体供应模块（IGS）的研发项目，将公司累积了超过 20 年的高纯介质控制领域的技术和发展经验，服务于国内的各类干法设备厂商。至纯集成已经在武汉，合肥，北京，无锡，深圳建设成立服务办公室，快速响应并更好的服务核心客户。

同时，至纯的湿法设备业务也保持健康增长势头。报告期新增订单达4.3亿元，其中单片设备2亿元。12寸单片设备是事业部持续快速增长的重中之重，目前公司已可以提供28nm节点的全部湿法工艺设备，首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证，下半年将有7台套12寸槽式设备和8台套12寸单片设备将交付到中芯、华虹集团、燕东科技等主流客户产线。

上半年，至纯科技在更先进的14nm~7nm技术世代已接到4台套机台多个工艺的正式订单，将于2022年交付至客户产线验证。上半年新增订单中有17台套是中国大陆（中芯宁波、中芯绍兴、中芯天津、华为、燕东科技）以及中国台湾（力积电）等老客户的重复订单；11台套是化合物半导体、大硅片以及先进封装领域的销售新突破（绿能芯创、天岳、英诺赛科、晶方等）。湿法设备的研发仍在持续投入中，湿法设备的核心零部件的开发也在全力推进中。

另外，至纯科技重资投入的晶圆再生业务系自身在湿法工艺设备、高纯化学品供应系统、工艺团队等原有业务能力的优势整合，又能有效解决高阶晶圆制造中晶圆再生依靠出口处理的问题。公司于合肥新站投资的晶圆再生和部件再生项目已于2021年7月正式量产，产能需要一定时间爬坡，有望在2021年度贡献2个月度的产值。（校对/Lee）