EUV时代全面加速 ASML设备出货超100台

图源：路透

集微网消息（文/思坦），据业内透露，截至第二季度，ASML EUV设备出货总量达到102台，随着需求量的提高和客户群的扩大，预计2年内累计供应量将增加2倍以上，标志着EUV时代正式拉开帷幕。

据ETNews报道，过去四个季度（2020年第三季度-2021年第二季度），ASML EUV设备出货总计40台，较之前四个季度（2019年第三季度-2020年第二季度）增长了66%。ASML今年的出货目标是40台左右，下半年将供应25台左右。

ASML扩大EUV设备供应响应了半导体制造业实现超微电路层的需求。尽管每台设备的价格达到1.71亿美元，但由于其卓越的工艺成本和省时效果，可以抵消设备采购的成本。业内人士指出，通过EUV可以降低设备成本和工艺成本，因此，在微加工领域引进EUV设备的企业越来越多。

根据ASML的说法，5-7nm逻辑半导体（以每月45,000颗晶圆为基准）每个EUV层需要一台EUV设备，16nm及以下节点DRAM（以每月100,000颗晶圆为基准）每个EUV层则需要1.5-2台设备。三星电子计划，到今年下半年为止，将14nm DDR5 DRAM的EUV应用层数从1层增加到5层，SK海力士也计划增加EUV应用层数，因此，预计EUV设备的需求将进一步增加。

除了EUV层的增加，EUV设备的客户群也在逐渐扩大。继2018年三星电子首次引进7nm制程的EUV设备后，台积电和SK海力士也加入了EUV竞争。美国的美光和英特尔也在推进EUV设备的引进，预计市场规模将进一步扩大。

业界预测，EUV时代将全面加速发展。因此，ASML计划通过增加设备供应来满足需求。ASML首席执行官Peter Wennink在第二季度财报会议上表示:“我们计划明年将EUV设备的产量增加到55台，到2023年将达到60台。”两年后，市场上将有240多台EUV设备投入使用，超过了目前积累的供应量。

但据观察，台积电已确保了目前供应的半数EUV设备。台积电拥有约50台EUV设备。考虑到EUV设备的目前由ASML独家供应，三星电子、SK海力士等半导体企业很难在短时间内确保有足够的设备。（校对/Jouvet）