集微咨询：国内半导体前道设备供应企业专利创新榜单

目前，“缺芯”引发的晶圆厂扩产潮给国内设备厂商带来了巨大机遇。根据国际半导体产业协会（SEMI）统计，2020年中国大陆地区半导体设备销售规模达187.2亿美元，同比增长39%，成为全球第一大半导体设备市场。然而，根据中国电子专用设备工业协会（CEPEA）数据统计，2020年国产半导体设备自给率约为17.5%，如果仅考虑集成电路设备，国内自给率仅为5%左右，在全球市场更是仅占1-2%。集微网统计发现，国内半导体设备厂商目前营收基本在十亿美元以内，而国外龙头已达到百亿美元级别；国内半导体设备龙头净利润基本不过1亿美元，而海外龙头净利润在几十亿美元；国产设备多用在精度要求不高的环节中，在12英寸晶圆产线上的工艺设备国产化平均水平目前更是只有13%左右。

来源：腾讯新闻

解决半导体设备的严重进口依赖，对摆脱受制于国外巨头关键技术“卡脖子”的窘境和提升我国产业链安全度具有重大意义。对于技术含量较高的半导体前道设备，如何以技术实力打破国际巨头的垄断，并让下游厂家提振对国产设备的信心，从而改变既往采购策略，是各个设备厂商需要重点关注的议题。

在尖端技术领域，专利实力往往是企业技术创新水准与市场话语权重要的外在体现。爱集微知识产权咨询对国内半导体前道设备供应企业的专利情况进行了全面梳理，发布国内半导体前道设备供应企业专利创新榜单，多维度解读企业专利现状，为公众和投资机构了解国内半导体前道设备供应企业的技术竞争力提供数据参考。

国内半导体前道设备供应企业专利创新十强榜单

爱集微知识产权咨询从专利布局、专利质量、技术价值、法律价值和经济价值等五个维度选取客观指标，基于合理的权重生成爱集微专利价值度，用以量化企业专利的价值高低。相对于单纯以专利数量排名，爱集微专利价值度提供了更加客观的专利评估指标。爱集微知识产权咨询根据企业的专利总量和爱集微专利价值度，计算得到各企业专利创新分值，在此基础上发布国内半导体前道设备供应企业专利创新十强榜单。

注：1、上述企业包括“企查查”统计的“持股比例”或“对外投资比例“50%以上的主体；

2、统计数据截至2021年10月，来源IncoPat专利数据库，爱集微知识产权咨询整理。

国内半导体前道设备供应企业专利创新十强榜单中，北方华创和上海微电子遥遥领先。专利总量分别为4299件和3467件，绝对值优势明显；爱集微专利价值度也居于中等偏上水平，分别为0.56和0.54，一定程度反应出较强的技术创新实力和专利保护程度。

中微半导体专利总量达到1621件，排名第三，值得注意的是其爱集微专利价值度高达0.70，综合实力强劲，专利创新分值直追前两家企业。

有意思的是，位列第四、五的屹唐半导体和中电科48所的专利总量相差无几，分别为790件和775件，而屹唐半导体的爱集微专利价值度0.69比中电科48所的爱集微专利价值度0.46高出不少，导致最终专利创新分值拉大差距。类似的情形还有，中电科45所、盛美半导体、至纯科技、拓荆科技专利总量均为400多件，然而盛美半导体凭借较高的爱集微专利价值度0.61反超至纯科技跃居第七位；拓荆科技则以相对弱势的爱集微专利价值度0.42导致专利创新分值与其他几家拉开差距，被排名第十的华海清科以专利总量为312件的弱势情况下专利创新分值几近追平。可见，企业在科技创新的同时，除了通过大幅提升专利数量进行充分布局外，还应当注重专利质量从而提高保护力度。

国内半导体前道设备供应企业海外专利布局十强榜单

海外专利布局对国内半导体前道设备厂商参与全球市场竞争的知识产权保护和国际市场话语权具有重大意义，针对海外专利布局的统计数据，爱集微知识产权咨询发布国内半导体前道设备供应企业海外专利十强榜单。

注：1、上述企业包括“企查查”统计的“持股比例”或“对外投资比例“50%以上的主体；2、海外专利包含世界知识产权组织（WO）和中国台湾地区（TW）专利；3、仅针对“专利总量”为100以上的企业进行被引用专利占比排名；4、统计数据截至2021年10月，来源IncoPat专利数据库，爱集微知识产权咨询整理。

从海外专利十强榜单中可以发现，屹唐半导体的海外专利占比高达87.09%，大幅领先其他企业，这可能缘于屹唐半导体2016年以3亿美元私有化收购的美国半导体设备厂商Mattson Technology Inc.（MTI），在完成收购后，MTI成为了屹唐半导体的主要经营主体，也明显体现在屹唐半导体的海外专利占比数据上。

除屹唐半导体外，上海微电子、中微半导体、北方华创基于其雄厚的专利总量优势，海外专利量也显著高于其他企业，体现一定国际竞争实力。其中，中微半导体占比达到41.52%，盛美半导体以其190件海外专利达到43.48%的专利占比，显示出对海外布局更加重视。

同样引起关注的，还有东方晶源微、众硅科技，在专利总量并无绝对优势的情况下，海外占比也高达1/3和1/4。此外，华卓精科、中电科45所、华海清科也以相对优势纷纷上榜，体现出这些企业具有较高的全球化视野，在专利布局初期即对海外专利进行储备。

然而，除上述企业外，其他国内半导体前道设备供应企业的海外专利布局整体还比较薄弱，尤其对于专利数量较多的企业，未来是否有意向在全球范围内加强专利布局、并预防产品出海可能遭遇的知识产权阻击，是值得各家企业重点关注的议题。

国内半导体前道设备供应企业专利被引用比例十强榜单

专利被引用的情况包括被其他专利文献公开引用，或在其他专利的实质审查程序中审查员将本专利文献作为对比文献在通知书或检索报告中引用。专利被引用比例的高低反映出企业披露的专利对应的技术方案的研究热度和业内关注活跃度，侧面反映出企业专利的技术先进性。爱集微知识产权咨询发布国内半导体前道设备供应企业专利被引用比例十强榜单。

注：1、上述企业包括“企查查”统计的“持股比例”或“对外投资比例”50%以上的主体；2、仅针对“专利总量”为100以上的企业进行被引用专利占比排名；3、统计数据截至2021年10月，来源IncoPat专利数据库，爱集微知识产权咨询整理。

除华卓精科、沈阳科仪、睿励科学仪器外，被引用专利占比高的十个企业中，有七个企业是专利总量排名前十的企业。也就是说，专利总量和被引用占比具有一定的关联性，科技创新是专利申请的基础，而技术先进以及专利布局意识强又是引领行业发展的最直观体现，自然被引用的几率也相对高。

其中，屹唐半导体最为突出，专利总量790件的情况下，被引用专利占比高达75%，可见其研究的技术聚焦热点，相对活跃，具有一定的先发优势。北方华创和上海微电子专利数量基数相对大，被引用专利占比高达一半以上，则其被引用的专利数量也非常客观，仍旧具有优势的行业领先地位。

华卓精科、沈阳科仪、睿励科学仪器专利总量没有相对优势的前提下，被引用专利占比达到60%左右，表现优异，侧面反应出其专利披露的技术内容受到业内的广泛关注。通过专利被引用情况作为线索进行技术追踪与风险排查，是专利情报分析的主要方法之一。

国内半导体前道设备供应企业集微专利价值度指数榜单

注：1、上述企业包括“企查查”统计的“持股比例”或“对外投资比例”50%以上的主体；2、仅针对“专利总量”为100以上的企业进行专利价值度排名；3、统计数据截至2021年10月，来源IncoPat专利数据库，爱集微知识产权咨询整理。

爱集微专利价值度指数榜单中，北方华创、上海微电子、中微半导体、屹唐半导体、中科电45所、至纯科技、盛美半导体均为专利总量十强企业，从榜单中看出，这些企业的专利价值也相对较高，排在榜单前列。其中，尤其以中微半导体和屹唐半导体为首，一定程度反应出上述企业的专利保护综合实力强劲。

值得一提的是，东方晶源微、华海精科、华卓精科、睿励科学仪器、沈阳科仪能够在专利数量并不十分突出的情况下，上榜专利价值度表单，共同点都是发明占比高，且重视专利运营盘活专利。此外，东方晶源微和睿励科学仪器的专利质量撰写质量相对较高；东方晶源微海注重海外布局，华卓精科技术相对前沿热点引起行业关注。

国内半导体前道设备供应企业专利创新榜单

最后，爱集微知识产权咨询针对57家国内半导体前道设备供应企业发布完整的专利创新榜单。

注：1、上述企业包括以“企查查”统计的“持股比例”或“对外投资比例“50%以上的主体；2、统计数据截至2021年10月，来源IncoPat专利数据库，爱集微知识产权咨询整理。

本次发布的榜单针对国内半导体前道设备供应企业，各家企业的产品涵盖清洗设备、镀铜设备、CMP设备、PVD设备、CVD设备、刻蚀设备、热处理设备、去胶、光刻、涂胶显影、离子注入、量测设备等不同的领域，由于技术的难易度以及企业历史与规模等多方面的因素，体现在分值上具有较大的差异。公众可通过各个企业间的数据对比，作为企业的技术创新能力、知识产权的重视程度和投入的参考。

爱集微知识产权咨询将持续关注各企业的专利数据更新和专利技术披露，并对榜单进行定期更新。