ASML发布火灾评估报告：DUV组件已恢复生产 EUV区域仍在抢修

集微网消息，1月7日，ASML发布公告，提供了1月3日在德国柏林的部分工厂内发生火灾的初步评估报告。 根据报告，该工厂DUV组件已经恢复生产，但EUV生产区域仍在抢修，尚未恢复生产。

报告显示，火灾发生在柏林现场的一栋生产大楼的局部位置，火灾产生的烟雾部分影响了相邻大楼。公司已经能够在这些建筑物的部分地区恢复生产，现场的其他建筑物没有受到影响，并已全面投入使用。

ASML表示，公司目前对此次火灾产生的影响评估观点如下：

1、公司的计量和检验输出计划不受影响，因为它们不包含柏林制造的任何组件；

2、DUV组件的制造已重新启动，尽管DUV的组件出现了一些中断，但公司正在进行补救，争取对DUV的产量和收入计划不产生影响。

3、EUV方面，火灾影响了EUV系统中的一个模块晶圆夹具的部分生产区域。公司仍在完成该生产区域的恢复计划，并确定如何最大限度地减少对EUV客户的任何潜在影响，无论是在公司的输出计划还是在我们的现场服务中。 

另外，ASML表示，2022 年1月19日将公布 2021 年第四季度和全年业绩以及对2022年的初步看法，届时还将提供有关该事件的进一步更新。 （校对/Humphrey）