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集微网消息，2021年12月29日，《辽宁省“十四五”先进装备制造业发展规划》（以下简称：《规划》）印发。
《规划》指出，未来五年，辽宁将围绕国家五大安全战略，优先发展航空装备、高技术船舶及海工装备、高档数控机床、集成电路装备、能源装备等5大战略型先进装备制造产业；围绕辽宁传统优势，重点发展重大成套装备、机器人及智能装备、先进轨道交通装备、节能与新能源汽车等4个主导型先进装备制造产业；围绕新经济新技术新业态，超前培育健康医疗装备、氢能装备、冰雪装备等3个未来型先进装备制造产业。到2025年形成重点引领、优势突出、“两化融合、两业融合”的先进装备产业体系。
优先发展战略型先进装备制造产业
集成电路装备
重点发展面向网络通信、工业控制、汽车电子、智能终端等领域的专用集成电路整机产品、关键零部件，攻克关键共性技术。到2025年，营业收入超过800亿元，省内上下游产业链配套率不低于25%，建成国内领先的集成电路装备产业基地，国内重要材料生产供应基地。
重点整机产品。重点发展12英寸原子层薄膜沉积（ALD）装备、12英寸亚常压化学气相沉积装备、具有与光刻机外联功能的12英寸及以上匀胶显影装备、12英寸前道深紫外光刻工艺涂胶显影装备、12寸全自动银浆高速机等一批新技术装备研制，鼓励光刻机、蚀刻机、离子注入机等设备的研制。推进12英寸激光类划片机、单晶外延设备（EPI）的研发、定型和应用，推进300mm全自动装片机、芯片倒装机、引线键合机等封装测试设备向高端封装及IGBT、MEMS特色封装领域应用。
关键零部件。重点发展IC装备核心制程关键零组件加热器、GDP、匀气盘及大尺寸腔体等产品，扩大现有产品腔体类、基板类、盘孔类零部件的市场规模，实现组装件的批量应用。实现罗茨干泵、涡旋干泵、离子泵、螺杆干泵及真空阀门大规模产业化，建成国际先进水平的真空获得系统研发、设计、测试验证、技术服务和产业化基地。
关键共性技术。重点发展应用于3D NAND闪存技术领域的PECVD设备等整机设备生产技术，小体积大抽速高节能涡旋真空泵技术，扇出型封装成套设备工艺技术，匀气盘、反应腔、罗茨干泵、阀门等关键零部件及零部件表面处理全工艺生产技术。
重点发展机器人及智能装备等
重点发展工业机器人、移动机器人、洁净机器人、服务机器人、特种机器人等全系列产品及核心零部件，形成研发协同创新机制完善、企业梯度发展、产业链条完整的国内领先的机器人产业基地。
机器人及智能装备产品。重点发展弧焊机器人、点焊机器人、真空（洁净）机器人、核环境机器人、全自主编程智能工业机器人、人机协作机器人、双臂机器人、复合机器人（移动机械臂）、装配型AGV、重载AGV等标志性工业机器人产品，以及救援机器人、水下机器人、手术机器人、智能型公共服务机器人、康复机器人等特种机器人，大型/精密/高效增材制造装备等智能装备。
机器人及智能装备核心零部件。重点发展高速高性能总线式控制器、高性能机器人专用伺服电机和驱动器、高精密差动行星减速器等机器人核心部件。
机器人及智能装备关键共性技术。重点发展传感器技术、视觉技术、远程监控与故障诊断技术、人工智能技术等核心技术，突破工业机器人与专用机器人在智能行为控制、安全协作控制上的重大共性关键技术，开展具有自主知识产权机器人产品的研发。加快3D打印设备产品开发及应用，重点突破三维测量、快速成型制造、快速模具、快速铸造、工业机器人激光增材制造技术等核心技术的开发与研制。
此外，《规划》将健全人才资源体系，加快高端人才集聚，创新人才引进、培养、使用、评价、激励政策，建立装备制造业人才库，加快培养和引进装备制造业的中高级技工队伍、研发专家和团队、高级经营管理人才，为产业发展提供智力支持和人才保障。（校对/Winfred）
