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晶瑞电材子公司苏州瑞红KrF光刻机顺利搬入

来源:爱集微

#晶瑞电材#

#光刻机#

07-05 19:21

集微网消息,7月5日,晶瑞电材-苏州瑞红KrF光刻机及配套设备顺利搬入实验室。

图源:晶瑞电材

本次光刻机的顺利搬入将为公司KrF光刻胶的产品开发及生产品质管控提供强有力的保障,有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力,对于提高公司可持续发展能力具有重大意义。

据悉,苏州瑞红电子化学品有限公司(以下简称:苏州瑞红)为晶瑞电材控股子公司。5月5日,晶瑞电材在接受机构调研时表示,公司子公司苏州瑞红拥有负型光刻胶系列、g线系列、i线光刻胶系列、KrF光刻胶系列等数十个型号产品,ArF光刻胶的研发工作有序开展中。其中KrF光刻胶产品已通过部分重要客户测试,KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中,计划2022年形成批量供货。同时为加快KrF光刻胶的量产,公司新购入了尼康KrF S207光刻机及配套设备。(校对/若冰)

责编: 韩秀荣

魏健

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