电科装备45所湿法设备进入国内主流8英寸芯片产线

作者： 魏健 2022-07-26
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集微网消息，近日，电科装备45所自主研制的双8英寸全线自动化湿法整线设备进入国内主流FAB厂。该整线设备满足8英寸90nm-130nm工艺节点，适用于8-12英寸BCD芯片工艺中的湿化学制程。

电科装备45所消息称，其自主研制的整线设备具备8寸主流FAB厂湿法设备运行标准，覆盖了8英寸BCD芯片工艺中的湿化学工艺制程，实现了全自动湿法去胶、湿法腐蚀、湿法金属刻蚀、RCA清洗、Marangoni干燥等工艺。

电科装备45所是国内最大的半导体湿法设备供应商之一，通过不断突破关键核心技术，形成了槽式清洗设备、单片清洗设备、甩干设备和电化学沉积ECD设备四大系列，累计向国内用户交付8000余台套设备，广泛应用于集成电路、分立器件、化合物半导体、MEMS传感器、光电子、衬底材料等行业。（校对/姜羽桐）

责编： 韩秀荣
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