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电科装备45所湿法设备进入国内主流8英寸芯片产线

来源:爱集微

#电科装备#

#湿法设备#

07-26 12:27

集微网消息,近日,电科装备45所自主研制的双8英寸全线自动化湿法整线设备进入国内主流FAB厂。该整线设备满足8英寸90nm-130nm工艺节点,适用于8-12英寸BCD芯片工艺中的湿化学制程。

电科装备45所消息称,其自主研制的整线设备具备8寸主流FAB厂湿法设备运行标准,覆盖了8英寸BCD芯片工艺中的湿化学工艺制程,实现了全自动湿法去胶、湿法腐蚀、湿法金属刻蚀、RCA清洗、Marangoni干燥等工艺。

电科装备45所是国内最大的半导体湿法设备供应商之一,通过不断突破关键核心技术,形成了槽式清洗设备、单片清洗设备、甩干设备和电化学沉积ECD设备四大系列,累计向国内用户交付8000余台套设备,广泛应用于集成电路、分立器件、化合物半导体、MEMS传感器、光电子、衬底材料等行业。(校对/姜羽桐)

责编: 韩秀荣

魏健

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