晶瑞电材:公司KrF光刻胶产品争取今年批量供货

集微网消息，7月30日，晶瑞电材在投资者互动平台上表示，公司KrF（248nm深紫外）光刻胶产品分辨率达到了0.25～0.13μm的技术要求，已通过部分重要客户测试，KrF光刻胶生产及测试线已经基本建成，设备正在安装调试中，争取今年批量供货。同时公司ArF光刻胶研发工作正在有序开展。

晶瑞电材还指出，光刻胶是国际上技术门槛最高的微电子化学品之一，属典型卡脖子材料，高端产品的研发和生产主要由日系JSR、信越化学、东京应化等少数公司所垄断。

公司子公司苏州瑞红1993年开始光刻胶生产，承担并完成了国家02专项“i线光刻胶产品开发及产业化”项目。

苏州瑞红是国内少有的既有规模又有利润的成熟光刻胶企业，销售规模和盈利能力处于国内领先位置，近年销售额和利润均呈现高速增长，其中部分产品已占据国内主要市场份额。苏州瑞红光刻胶品类齐全，经过三十年积累，拥有负型光刻胶系列、宽谱正胶系列、g线系列、i线光刻胶系列、KrF光刻胶系列等数十个型号产品，ArF光刻胶的研发工作有序开展中。i线光刻胶已向国内中芯国际、合肥长鑫等知名大尺寸半导体厂商供货，为我国供应半导体光刻胶出货量最大的本土企业之一。（校对/闫莉）