上海新阳:krF光刻胶已有订单客户超3家,ArF光刻胶无法预计认证时间

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集微网消息,8月12日,有投资者在互动平台上询问上海新阳,中芯北方ArF胶验证工作进展如何? krF胶订单客户有几家?

上海新阳表示,光刻胶验证工作还在进展中, krF光刻胶已有订单客户超3家。

关于ArF光刻胶方面,上海新阳称,公司ArF光刻胶尚在认证中,受疫情、客户产能等多方面因素影响,暂无法预计认证时间。

据中报显示,上海新阳2022年上半年营业收入约5.49亿元,同比增加25.63%;归属于上市公司股东的净利润约991万元,同比减少90.18%;实现扣非后归属于母公司净利润5,247.29万元,与去年同期相比增长17.61%。

上海新阳第三大核心技术产品——光刻胶不断取得重大突破,自主研发的KrF光刻胶产品通过认证客户不断增加,已在国内主流晶圆制造厂商处实现供货。

目前,上海新阳正在开发集成电路制造用高端光刻胶产品,包括逻辑和模拟芯片制造用的 I 线光刻胶、KrF 光刻 胶、ArF 干法光刻胶,存储芯片制造用的 KrF 厚膜光刻胶,底部抗反射膜(BARC)等配套材料。(校对/邓秋贤)

责编: 邓文标
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