【招标】清华大学金属刻蚀机和涂胶显影机公开招标

作者：魏健 2022-08-17

来源：爱集微 #招标# #清华大学#

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集微网消息，8月16日，清华大学发布金属刻蚀机和涂胶显影机两项招标公告。

金属刻蚀机项目：清华大学拟采购1套金属刻蚀机，预算金额1400万元，设备应用于微机电系统（MEMS）和先进集成工艺研发过程中的金属材料的干法刻蚀工艺，金属材料包括铝（Al）、钛（Ti）等。

涂胶显影机项目：清华大学拟采购1套涂胶显影机，预算金额1400万元，包含涂胶显影机（MEMS用）、涂胶显影机（先进集成用），以及晶圆键合模块的涂胶机（临时键合用）3台设备。涂胶显影机（MEMS用、先进集成用）主要用于光刻胶的涂敷与曝光后显影工艺，是配合光刻机完成图形化的必需设备；涂胶机（临时键合用）主要用于临时键合工艺的键合胶涂敷，是临时键合的必需设备。（校对/赵碧莹）