【中标】东京电子中标上海华力接触孔等离子体刻蚀设备采购项目

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集微网消息,招标平台信息显示,8月16日,上海华力微电子有限公司(以下简称“上海华力”)接触孔等离子体刻蚀设备采购项目中标结果公示,中标人为Tokyo Electron Limited(东京电子),标的物为1台接触孔等离子体刻蚀设备。

官方消息显示,上海华力成立于2010年,隶属于华虹集团,拥有先进的工艺制程和完备的解决方案,工艺技术覆盖65/55纳米、40纳米和28/22纳米技术节点,在上海建有上海华力微电子有限公司(华虹五厂)、上海华力集成电路制造有限公司(华虹六厂)两座12英寸全自动晶圆厂。华虹五厂是中国大陆第一条12英寸全自动集成电路芯片制造生产线,月产能3.8万片;华虹六厂设计月产能4万片,于2018年10月建成投片。

此前招标平台信息显示,5月10日,上海华力多晶硅等离子体刻蚀机采购项目中标结果公示,中标人为Lam Research International Sdn. Bhd.,中标货物为1台多晶硅等离子体刻蚀机。(校对/姜羽桐)

责编: 赵碧莹
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