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路维光电:主要客户有京东方、华星光电、天马、信利等

来源:爱集微

#路维光电#

09-27 21:07

集微网消息,近日,路维光电在接受机构调研时表示,掩膜版的主要原材料是掩膜基板、光学膜等,目前国内供应商已经能够供应部分种类的基板,但高世代石英基板及光学膜的供应商集中于日本、韩国,国内暂无国产化能力。

公司积极探索掩膜版上游材料领域,对光阻材料特性进行深入研究,分别于2016年、2018年自主开发了中小尺寸和大尺寸掩膜版光阻涂布技术,实现了国内掩膜版行业在高精度、大尺寸光阻涂布技术上零的突破及对产业链上游技术的成功延伸。公司将以光阻涂布技术为突破点,持续向上游原材料技术延伸。

随着下游产品的技术发展,平板显示掩膜版主要演进方向包括大尺寸化、高精细化等,从产品尺寸看,平板显示产品历经二十年换代时间(从G1到G11),G11是目前全球最高世代。G11掩膜版由于基板面积更大,因此图形精度及均匀性、位置精度、缺陷控制、Mura控制等环节技术难度更高。公司G11 掩膜版产品相关技术指标已达到国际先进水平,CD精度可控制在±0.1µm以内,总长及位置精度可控制在±0.5µm以内。

随着公司技术进步,在半导体芯片制造、封装等领域与核心客户合作日益紧密,公司在产业链中的市场地位和定价能力有所提升;此外,产品定制化要求越高、精度越高,单价和毛利率水平越高,2019-2021年,公司较高精度半导体掩膜版销售占比稳步提高,高精度掩膜版销售的增加进一步优化了半导体类产品结构,带动了半导体掩膜版盈利水平持续提升。 

路维光电称,半导体掩膜版按具体应用领域分类为IC封装、IC器件、LED外延片、MEMS等。在前述领域,公司已与国内某些领先芯片公司及其配套供应商士兰微、晶方科技、华天科技、通富微电、三安光电、光迅科技等国内知名的下游半导体公司建立了长期、稳定的业务合作关系。

据悉。路维光电主要客户有京东方、华星光电、天马、信利等。

公司生产掩膜版所需的主要原材料为掩膜版基板、光学膜,目前掩膜基板中中大型尺寸石英基板尚依赖进口,其中,高世代石英基板及光学膜的供应商集中于日本、韩国,目前国内暂无供应商可提供替代品。

路维光电称,公司坚持“以屏带芯”发展战略,半导体掩膜版是公司业务的主要发展方向之一。目前公司已实现250nm制程节点半导体掩膜版的量产,掌握180nm/150nm制程节点半导体掩膜版制造核心技术能力。公司募投项目会进一步将半导体掩膜版量产能力提升至130nm制程节点,并立足于自主研发、突破半导体掩膜版制造中的精度控制、缺陷控制等关键技术,将掌握的半导体掩膜版制作技术进一步推进至110nm/90nm/65nm等制程节点。

(校对/李正操)

责编: 邓文标

张进

作者

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邮箱:zhangjin@lunion.com.cn

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