集微网消息，据外媒报道，格芯（Globalfoundries Inc.）日前获得3000万美元的联邦资金支持，用于在其位于佛蒙特州的晶圆厂开发和生产硅基氮化镓（GaN-on-Si）晶圆，该工厂目前每月可生产超过5万片晶圆。
报道显示，该笔拨款是2022财年综合拨款法案的一部分，来自于美国国防部可信访问计划办公室 (TAPO) ，自2019年以来，TAPO一直积极支持军民两用硅基氮化镓技术研发，新的款项将资助格芯采购设备并开始在8英寸产线实现硅基氮化镓量产。
与传统GaN-on-SiC等技术路线相比，硅基氮化镓选用的衬底成本与可及性有显著优势，GaN外延生长缺陷也显著降低。
