近日，国内专业从事MEMS代工服务的苏州硅时代电子科技有限公司（Si-Era）推出国内首个MEMS开关工艺解决方案。
可为客户提供：
· 快速验证产品设计
· 降低开发成本
· 减少进入市场时间
· 实现片上集成的高性能MEMS Switch器件
核心工艺能力：
· 可使用不同的悬臂梁材料（金、合金、复合膜）
· 高性能介质层
· 高可靠性触点材料
· 核心牺牲层工艺，可兼容不同牺牲层释放工艺
· 超低应力、超低粗糙度电镀工艺
· 可基于玻璃/石英/高阻硅衬底进行流片
已解决的关键技术难点：
· 金属悬臂梁弛豫抑制
· 高阻硅表面态处理
· 触点材料鲁棒性
· 极低寄生电荷
· 电镀应力调控
· 悬臂梁翘曲测量表征
· 可提供TSV/TGV晶圆级封装，减少封装带来的性能损耗，实现产品小型化
图1 MEMS Switch Solution
典型客户案例
苏州硅时代已为多家客户提供MEMS开关技术支持，其中包括多所国内知名大学、研究所、大中型企业。
——基于该工艺解决方案，
客户A：与苏州硅时代密切合作，对基于MEMS开关的Ka频段移相器进行了系统化的设计流水，器件初步测试结果达到业界先进水平。
客户B：对多种类型的RF MEMS开关进行流水加工，样品良率达到90%以上。
图2 客户A：设计加工的MEMS移相器晶圆样品
图3 客户B：设计加工的RF MEMS开关样品
关于MEMS开关
MEMS开关是利用MEMS技术制作的微小机械式开关，如图4所示，通过控制悬臂梁的机械运动，来控制信号的导通与断开。按照应用场景不同，可分为射频微机电开关（RF MEMS Switch）与微机电继电器（MEMS Relay）两大类。
图4 射频MEMS开关结构示意图
RF MEMS Switch
RF MEMS Switch与半导体固态电子开关（Solid State Switch）相比具有损耗小、功耗低、尺寸小、线性度高等非常卓越的优点，可应用于移相器、调谐天线、可调滤波器、波束成形、开关矩阵等射频系统及子系统。从无处不在的智能传感器网络、移动手机，到测试仪器设备以及军用雷达，RF MEMS Switch器件越来越显示出其广阔的应用前景。
MEMS Relay
MEMS Relay与传统电磁继电器（Electromechanical Relay）相比具有功耗低、响应速度快、器件寿命长等优势，可应用于测试设备、电源管理、工业及民用物联网等领域，为设备小型化、高可靠物联网、低能量损耗电力系统、助力“双碳”提供了更多可能性。
关于苏州硅时代
苏州硅时代电子科技有限公司简介
苏州硅时代电子科技有限公司（Si-Era），位于国内最大的MEMS产业集聚区——苏州纳米城。利用MEMS领域近20年的技术积累，在MEMS传感器、生物MEMS、光学MEMS以及射频MEMS方面都拥有大量的设计和工艺经验。
基于成熟的设计及工艺团队，苏州硅时代面向MEMS领域，提供全方位的技术服务。可提供MEMS芯片定制设计开发、集成电路芯片设计、MEMS芯片工艺验证、MEMS芯片小批量试制、MEMS芯片中试化量产、MEMS芯片封装方案设计等系统解决方案，也提供MEMS设计、加工、测试等单步或多步工艺实验开发。
在MEMS加工（微纳加工）、MEMS代工（微纳代工）领域，拥有丰富的技术积累和工艺经验。在掩膜版制作方面积累了丰富的经验，可提供快速制版，三天交付的专业服务。
苏州硅时代电子科技有限公司作为一家专注于MEMS设计、MEMS加工的高技术公司，拥有丰富的MEMS加工资源，可实现4/6/8寸MEMS芯片设计、代工，以及多种单步工艺代工的完整工艺能力。具备成熟的光刻、刻蚀、镀膜、封装、测试等微纳加工能力。所使用设备状况精良，设备能力优异，并可多工艺合作开发，高效评估，高质量实施，全流程收集实验数据，精细的流程管理以及优质的服务。
