【一周招/中标】睿励科学仪器新增中标设备3台，尚积新增中标设备2台，上海积塔新增设备招标4台

集微网消息，本周，新昇半导体新增设备招标9台，上海积塔新增设备招标4台，西安奕斯伟新增设备招标1台；睿励科学仪器新增中标设备3台，尚积半导体新增中标设备2台，逸典科技新增中标设备2台，ASE新增中标设备6台，东京精密新增中标设备3台，Optima新增中标设备2台。

重要招标数据：

本周招标16台设备，其中，薄膜沉积1台，工艺检测2台，CMP 6台，清洗设备1台，涂胶显影1台，其他设备5台。

重要中标数据：

本周中标98台设备，其中，刻蚀设备1台，薄膜沉积7台，工艺检测8台、CMP 12台、清洗设备7台，其他设备63台。

本周重点企业动态：

近日，杭州富芯12英寸模拟集成电路芯片生产线项目（一期）具备竣工规划确认条件；北方华创在投资者互动平台表示，公司多种新设备已实现在28纳米产线的应用；盛美上海在接受机构调研时表示，今年会推出多种膜的PECVD，在客户端进行验证；华海清科在接受机构调研时表示，公司减薄产品预计2023年会有小批量出货，湿法设备已应用于公司晶圆再生生产；芯源微临港研发及产业化项目主体结构封顶；北京烁科中科信发布消息称，开年新签整机累计达11台，合同总额突破2亿元。

以下是本周部分招标信息汇总：

以下是本周部分中标信息汇总：

（校对/韩秀荣）