芯碁微装太阳能电池光刻设备量产机型成功发运

SDI-15H太阳能电池光刻设备在诸如异质结电池（HJT）铜电镀、XBC太阳能电池等新型光伏电池工艺中具有广阔的应用前景。芯碁微装直写光刻技术为光伏行业降本增效、解决高效太阳能电池产业化痛点问题提供了一种新型的高精度低成本图形化解决方案。

芯碁微装SDI-15H型太阳能电池光刻设备采用先进数字光刻技术，无需掩模版，可直接将复杂高精图案转移至太阳能电池表面，是直写光刻图形化技术在光伏领域的量产首创应用。SDI-15H太阳能电池直写光刻系统采用多光学引擎并行扫描技术，具备高精度解析（15μm+），高精度图案对位（＜10μm），高速加工能力（单轨道≥6000半片/小时）等优异性能，且加工过程具有无接触无污染、无激光损伤、无掩模版耗用等优势。

在“碳中和”成为全球共识，绿色可再生能源渐渐成为世界未来能源主流的背景下，大力发展光伏绿色能源是实现人类能源可持续发展的重要途径。芯碁微装紧握时代发展脉搏，将不断推进直写光刻技术在绿色能源领域的广泛应用，实现“IC装备 世界品牌”的企业愿景。