美国初创企业Omnitron Sensors日前宣布已选择Silex Microsystems将首款产品商业化。
Omnitron将自己描述为一家IP公司，希望将其MEMS设计授权出去。由于MEMS设计的可转让性远低于CMOS IC设计，代工厂流片验证是关键一步，Silex是目前全球领先的纯MEMS代工厂，于2015年被中资收购。
Omnitron表示，它已经发现了一种重新排序工艺步骤和使用不同封装的方法，可以提高MEMS性能。该公司声称，对于激光雷达的扫描镜来说，这可以转化为更快的移动镜和更宽的视野。
Omnitron联合创始人兼首席执行官阿吉拉尔(Aguilar)在一份声明中表示：“Omnitron的新MEMS拓扑结构巧妙地重新安排了硅工艺步骤和新的封装方法，这是微电子行业向前迈出的重要一步，因为它降低了迄今为止限制MEMS发展的制造复杂性。通过利用Silex工厂已有的标准工具和工艺，Omnitron为快速大批量交付市场的强大、可靠和经济实惠的MEMS设备扫清了道路。我们选择世界上最大的纯MEMS代工厂Silex Microsystems意味着我们已做好商业化准备，可以提供首款MEMS扫描仪，满足不同应用中激光雷达的精度、可靠性、尺寸、成本和体积要求。”
尽管Omnitron是从激光雷达市场起步，但该公司声称其重新安排的制造和新颖的封装可应用于惯性测量单元(IMU)、麦克风、压力传感器等。
