传英特尔不会使用高数值孔径EUV开发18A工艺

作者：李沛 09-22 15:56

来源：爱集微 #18A# #英特尔#

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集微网消息，在英特尔创新日上，该公司人士透露英特尔不会使用高数值孔径EUV光刻机来制造18A节点芯片。

计划的改变不应令人意外。原定于2025年进行的Intel 18A量产被拉至2024年下半年，而ASML的高数值孔径路线图仍显示，量产级高数值孔径型号的出货将不早于2025年。英特尔别无选择，只能坚持使用0.33-NA的EUV工具进行18A制造。不过，处理器公司和未来的代工厂将使用18A节点来验证高数值孔径技术。

ASML最近确认将在今年晚些时候发货第一款高数值孔径工具。英特尔据称将是这台预生产机器的接收者。

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