Chemtronics投资170亿韩元 扩大韩国EUV光刻胶材料生产

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集微网消息,韩国公司Chemtronics宣布,将投资170亿韩元,扩大在韩国的EUV光刻胶化学材料生产。该公司生产的产品为超高浓度PGMEA(丙二醇单甲醚乙酸酯),占EUV光刻胶成分的70~80%,目前日本限制其对外出口。Chemtronics表示,将使PGMEA的产能扩大2.5倍。

另一家韩国半导体化学材料商Dongjin Semichem也宣布计划开发新一代高NA光刻胶,以满足未来ASML EUV光刻机数量增长的需求。

2022年,Chemtronics投资200亿韩元在韩国建立PGMEA生产设施,目前的年产量约为1万吨,目标是2025年将产量提高至2.5万吨。该产品的纯度为99.999%(5N),可用于进一步制造EUV光刻胶。

当前EUV光刻胶市场由日本JSR、信越化学、TOK等厂商主导,但是日本限制对韩国、中国等出口。有消息称Chemtronics已向客户交付样品并进行质量验证,如果能顺利通过验证,2024年上半年即可发货。

目前市场上销售的PGMEA含有100~300 ppm的β-亮氨酸(β-leucine)化学物质,对人体有害。Chemtronics公司表示,其PGMEA产品仅含有1~2ppm的微量β-亮氨酸,完全符合客户要求的ESG标准。

(校对/赵月)

责编: 李梅
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