喜报丨成川科技成功通过超高洁净立库项目验收

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2023年11月,成川科技首个CLASS 1高洁净等级立库项目顺利通过客户验收。该客户是一家光罩制造公司,生产线对于洁净度的要求非常高。本项目中的立库主要用于存储制程中的光罩裸片,客户要求立库内部的洁净度达到CLASS 1级(FS 209D标准)。

洁净度是衡量环境洁净程度的指标,按照不同的标准有不同的表示。大家习惯说的Class多少级,依据的是美国洁净室联邦标准FS209,Class1级是指洁净环境中每立方英尺空间大于等于0.5um的颗粒数最大数量为1个,是该标准的最高等级。

成川科技根据客户的需求对该超高洁净度的立库进行了定制化研发,从结构、气流、材质等方面进行了特别的设计,并在气流仿真的基础上,不断完善,在生产组装以及现场安装过程中严格按照超高洁净室设备制作标准进行管理,项目完成后各项指标全部达到了客户的要求并获得客户的最终验收。

超高洁净度立库项目的完成,充分反映了成川科技的研发设计实力,秉承“做一个成一个”的责任感,公司将不断提升技术研发能力,不断满足客户的需求。


责编: 爱集微
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