拓荆科技:获得政府补助4664万元

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集微网消息,12月6日,拓荆科技发布公告称,公司于今日收到政府补助款项人民币4,664万元,全部为与收益相关的政府补助。

据悉,拓荆科技成立于2010年,专注于薄膜沉积领域,是国内唯一一家实现PECVD和SACVD产业化应用的公司,同时在ALD领域也处于国内龙头地位。公司目前已进入到中芯国际、长江存储等国内头部制造企业,同时在海外客户拓展上有所突破。

拓荆科技此前披露的投资者关系活动记录表显示,公司PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD等系列薄膜设备均已实现量产,其中,PECVD设备作为公司的主打产品,已实现规模量产,订单量占比相对较高,ALD、SACVD、HDPCVD等新产品正在逐步扩大量产规模。

此外,目前拓荆科技晶圆对晶圆键合产品(Dione 300)已实现量产,并获得复购订单,芯片对晶圆键合表面预处理产品(Pollux)已出货至客户端验证。混合键合设备主要应用于三维集成领域,其未来市场需求规模目前很难量化,随着“后摩尔时代”的来临,预估混合键合设备潜在市场需求和增长空间较大。

(校对/黄仁贵)

责编: 黄仁贵
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