芯碁微装“光学扩展模组和具有其的光学系统”专利公布

作者：爱集微 3小时前

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天眼查显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司“光学扩展模组和具有其的光学系统”专利公布，申请公布日为2024年9月24日，申请公布号为CN118688972A。

本发明公开了一种光学扩展模组和光学系统，光学扩展模组包括：空间光调制器，扩展镜组，扩展镜组设置于空间光调制器的一侧，扩展镜组通过主成像镜头、反射镜组或棱镜组形成多个展开光路；多个微透镜阵列模组，多个微透镜阵列模组设置于扩展镜组的远离空间光调制器的一侧并位于主成像镜头的像面上，每个微透镜阵列模组对应于一个展开光路；每个展开光路对应一个子成像透镜，每个子成像透镜和微透镜阵列模组一一对应设置，子成像透镜设置于微透镜阵列模组的远离扩展镜组的一侧。根据本发明实施例的光学扩展模组，具有提高了线路的曝光效率和降低了维修成本等优点。