奕斯伟“一种抛光垫的表面监测装置及方法”专利公布

作者：爱集微 04-03 07:24

来源：爱集微 #奕斯伟#

1.2w

天眼查显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司“一种抛光垫的表面监测装置及方法”专利公布，申请公布日为2025年2月28日，申请公布号为CN119526256A。

本公开实施例公开了一种抛光垫的表面监测装置及方法，抛光垫的表面监测装置可以包括图像采集机构和控制器，图像采集机构通过支撑组件固定于抛光头上，用于在CMP过程中实时采集抛光垫的表面图像。表面图像被传送至控制器，控制器利用图像识别技术对采集到的图像进行分析，以确定抛光垫的表面状态。

责编：赵碧莹

来源：爱集微 #奕斯伟#

THE END

*此内容为集微网原创，著作权归集微网所有，爱集微，爱原创

爱集微

微信：

邮箱：laoyaoba@gmail.com

11.2w文章总数

12012.5w总浏览量