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集微网消息，2022年7月，科创板开市迎来三周年。作为硬科技上市企业的新阵地，科创板有效推进更多资金向科技创新领域集中。科创板已汇聚了一批突破关键核心技术、市场认可度高的集成电路领先企业。
其中，截至2022年6月20日，科创板上市的半导体设备企业已达到10家。
半导体设备公司业绩高速增长
在我国集成电路领域，高端设备依旧处于美欧日垄断状态，“卡脖子”问题突出，是当前及未来国产化需要重点突破的领域。近年来，在复杂的国内外环境以及龙头代工厂相继扩产等因素助推下，国产设备迎来发展良机。
登陆科创板的半导体设备企业包括和林微纳、芯碁微装、正帆科技、华峰测控、华海清科、盛美上海、拓荆科技、芯源微、中微公司、华兴源创，涉及测试设备、CMP设备、MOCVD设备等不同细分领域。
成功登陆科创板的半导体设备企业，已陆续获得诸多优质客户的订单。与进口设备相比，国产设备交期相对较好，响应速度更快、配套服务更到位。半导体设备领域由于资本投入大、人才缺乏，登陆科创板能进一步促进其获得优质资源，提升其市场占有率。
2021年度，上述登陆科创板的10家半导体设备厂商，均实现了营业收入与净利润同比正增长。其中，华峰测控、华海清科、中微公司三家企业，归母净利润同比增幅超过100%，实现归母净利润翻番。营业收入方面，华峰测控、华海清科、芯源微同比增幅也均超过100%，实现翻番。
2021年成为国产半导体设备厂商“业绩大年”背后，是全球晶圆厂商进一步扩产，叠加零部件紧缺情况以及国产化需求等诸多因素复合作用的结果。
尽管2022年受疫情影响等因素，设备领域市场表现可能不及预期，然而截至目前，上述企业陆续发布22Q1、Q2财报，多家企业依然延续2021年高增长趋势。其中，2022 年Q1华峰测控收入和归母净利润分别同比增长124%、356%。芯源微收入和归母净利润分别同比增长61.99%、398.34%。
此外，上述公司中，中微公司率先发布中报业绩预告，预计 2022年半年度营业收入约 19.7 亿元，同比增长约 47.1%，新增订单约 30.6 亿元，同比增长约 62%。
持续加大研发投入
创新企业发展离不开资本的助力，科创板公司集中于高新技术产业和战略性新兴产业，进一步为上市企业提供了研发投入支撑。
上市公司年报数据显示，科创板公司2021年研发投入金额合计852.40亿元，同比增长29%。同期，科创板公司研发投入占营业收入的比例平均为13%，高于A股上市公司整体水平。细分行业中，集成电路行业研发强度达到19%
前述登陆科创板的集成电路设备企业，2021年研发投入大体呈现持续增长态势，其中，华海清科、芯源微研发投入同比增幅超过100%，和林微纳、中微公司研发投入占比超20%，高于科创板公司研发投入占营业收入的平均比例。
高增长的研发投入，进一步为集成电路设备企业技术研发与产能扩充提供力有力支持，以中微公司为例，2021年公司研发投入为7.28亿元，占收入比例为23.4%，其在2021年还连续启动了三个建设项目。为今后的大发展发展夯实基础。
2021年芯源微研发投入将近1亿元，比上一年增长103.68%。根据年报，芯源微业绩增长的主要原因是半导体行业景气度持续向好，加大市场开拓力度同时加大研发投入，以提高产品竞争力，使得新签订单较上年同期大幅增长，导致收入规模增长。
国产替代空间广阔
根据SEMI，2020 和2021 年中国是全球半导体设备销售额最大的国家，而从公开的Fab厂招标数据来看，国产设备渗透率较低，国产替代空间巨大。目前，国内晶圆厂产能不断扩张的同时，也在不断地导入国产设备，国产半导体厂商正在持续提升市场占有率。
据集微咨询统计，今年第二季度，国内以上海积塔、华虹半导体、燕东微电子的半导体制造企业共发布了近2000台招标信息，涉及光刻、工艺检测、离子注入、薄膜沉积、CMP等不同类别的设备。
而从企业中标情况来看，今年第二季度，国内半导体设备企业共中标设备643台，占总体招标量的33.3%。根据今年第二季度的数据，从部分类别的细分设备来看，刻蚀设备方面国产率高达66.7%。薄膜沉积设备国产化率接近46.4%，此外，清洗设备国产化率接近65.4%，工艺检测方面，国产化率约为32.4%。
从中标企业来看，上述登陆科创板的设备企业中，中微半导体在今年Q2中标了22台刻蚀设备，拓荆科技则中标了11台薄膜沉积设备，芯源微中标了16台涂胶显影设备，企业在手订单饱满、表现突出。
面向未来，在进一步获得资本助推的背景下，国产半导体设备有望实现更多突破。（校对/刘沁宇）
