天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“半导体工艺设备及其安装调节装置”专利获授权，授权公告日为10月13日，授权公告号为CN219832593U。
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专利摘要显示，本申请提供一种半导体工艺设备及其安装调节装置，用于将光学测温件固定安装于半导体工艺设备的测温窗口的外侧。安装调节装置包括安装座和调节组件，其中，光学测温件安装于安装座远离半导体工艺腔室一侧；安装座具有透光口，以能够使光学测温件的测温光线依次穿过透光口和测温窗口检测半导体工艺腔室内的温度；安装座通过调节组件与半导体工艺腔室和光学测温件相连，调节组件用于调节安装座相对半导体工艺腔室的安装角度，以调节测温光线的传播方向。调节组件能够改变安装座与半导体工艺腔室之间的距离，进而调节测温光线的传播方向。经调节后测温光线能够对准基座底部中心部位，进而提高光学测温件测温的准确性。（校对/刘沁宇）
