特仪科技“一种晶圆巡边定位设备”专利获授权

集微网消息，天眼查显示，厦门特仪科技有限公司近日取得一项名为“一种晶圆巡边定位设备”的专利，授权公告号为CN117558671B,，授权公告日为2024年3月15日，申请日为2024年1月10日。

本发明公开了一种晶圆巡边定位设备，包括：工作台；工件吸盘，移动设置于所述工作台的定位用通口处，工件吸盘的外侧套设有环形校正件；校正件驱动机构，包含步进电机、以及连接到所述步进电机的输出轴端的驱动凸块；弹力检测机构，包含安装于驱动凸块的安装槽的压力传感器，压力传感器通过小刚度弹簧向上滚动安装有抵接滚珠；气动推动机构，用于对所述校正件驱动机构外侧的工件进行吹气；定位移动机构，驱动所述工件吸盘在所述定位用通口的区域内进行移动；工件边缘检测机构，包含安装于所述检测用通口上下侧的一组对应设置的激光投光器、激光受光器。本发明能够在降低晶圆工件下垂量的前提下，实现对晶圆工件的边缘数据的采集。