大连理工大学“氮化镓气体传感器及其制备方法、应用”专利公布

集微网消息，天眼查显示，大连理工大学“氮化镓气体传感器及其制备方法、应用”专利公布，申请公布日为2024年3月26日，申请公布号为CN117761126A。

本发明公开了一种氮化镓气体传感器及其制备方法、应用，制备方法包括：对衬底进行镀膜形成非晶氮化镓薄膜，得到含有非晶氮化镓薄膜的衬底；对含有非晶氮化镓薄膜的衬底进行热退火，使非晶氮化镓薄膜转变为多晶氮化镓薄膜，得到含有多晶氮化镓薄膜的衬底；对含有多晶氮化镓薄膜的衬底进行湿法腐蚀，在非晶氮化镓薄膜的表面形成多孔结构，得到具有多孔结构的衬底；对具有多孔结构的衬底涂覆光刻胶后进行图案化光刻，得到具有叉指电极图形的衬底；目标图形为叉指电极图形；在具有目标图形的衬底上生长电极后，去除剩余光刻胶得到氮化镓气体传感器。本发明的氮化镓气体传感器符合用于检测或监测氨气的高灵敏度、低检测限和高敏选择性需求。