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4月25日，拓荆科技（上海）半导体先进工艺装备研发与产业化项目”主体钢结构全面完工封顶。
上海地产闵虹集团消息显示，该项目建筑面积约10万㎡，用于开发先进的ALD薄膜工艺技术及高产能设备平台，并实现以临港为中心客户群所需半导体设备的产业化。
拓荆科技（上海）有限公司（以下简称“拓荆科技”）成立于2020年12月，是拓荆科技股份有限公司在临港设立的全资子公司。拓荆科技主要从事高端集成电路薄膜装备的研发、生产与销售，聚焦半导体薄膜沉积设备，是国内专用量产型PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD设备的企业。（校对/韩秀荣）
