天眼查消息显示，南京元感微电子有限公司“一种抑制角振动的MEMS陀螺”专利公布，申请公布日为2024年8月9日，申请公布号为CN118463957A。
本发明涉及陀螺技术领域，公开一种抑制角振动的MEMS陀螺，包括：四个科氏耦合块；四个驱动组件，每个驱动组件均包括驱动质量块和驱动电极；四个检测组件，每个检测组件均包括检测质量块和检测电极，检测第三方向的角速度时，检测质量块随科氏耦合块沿第一方向运动，检测电极用于检测第三方向的角速度；解耦梁，包括检测解耦梁和驱动解耦梁；模态调整梁，包括驱动模态外调整梁和检测模态外调整梁；驱动耦合梁以及检测耦合梁。本发明公开的抑制角振动的MEMS陀螺，不仅具有较高的环境鲁棒性、较优异的零偏性能、较低的正交误差以及较高的灵敏度，还增大了干扰模态和工作模态的频差，降低了干扰信号对测量的误差。
