据科技日报报道，来自中科院长春光学精密机械与物理研究所等单位的研究人员，开发了一种新型飞秒激光等离子激元光刻技术（FPL）。利用该技术，研究人员在百纳米厚的硅基氧化石墨烯薄膜表面实现了高质量微纳周期结构的快速制备。
石墨烯被发现以来，二维材料逐渐进入人们视野，成为材料领域的研究热点。如何降低成本，高效制备微纳结构石墨烯，是目前需要解决的重要问题。
据悉，飞秒激光加工技术凭借着超高峰值功率和超短脉冲持续时间优势，被广泛应用于多种材料的超精细微纳加工领域。中科院长春光学精密机械与物理研究所研究员杨建军表示，如何利用灵活简便的加工手段解决加工精度和加工效率问题是拓展飞秒激光实用化的关键所在。
据了解，此次研究首次证明了FPL技术在二维薄膜材料上能够实现大面积高质量亚微米周期结构的快速制备。得益于飞秒激光的非线性光学特点，FPL技术加工过程不易受材料表面缺陷、杂质等因素的影响，加工基底也不易受到材料种类的限制。加工材料表现出了优异的机械性能，可以利用传统的湿转移法进行完整转移。这为相关材料周期性微纳结构的灵活制备奠定了基础。
目前，相关成果已在《光：科学与应用》上发表。（校对/小如）
