（文/若冰）7月15日，南大光电发布公告称，全资子公司宁波南大光电材料有限公司(以下简称“宁波南大光电”)近日收到宁波市北仑区经济技术开发区管委会拨付的地方财政补贴人民币1,584.47万元，用于实施科技部“02专项”之“ArF光刻胶产品的开发与产业化”课题。
据悉，宁波南大光电材料有限公司是江苏南大光电材料股份有限公司于2018年1月在北仑区芯港小镇成立的光刻胶配套材料子公司。项目总投资15.6亿元，将年产25吨ArF光刻胶。
4月16日，宁波南大光电材料有限公司浸没式光刻机搬入仪式举行。在国家“02专项”和北仑区政府的支持下，南大光电购买了193纳米浸没式光刻机，用于光刻胶产品开发。
据此前北仑新闻网报道，193纳米浸没式光刻机进厂后，南大光电后期也将建成国内第一个专业用于ArF光刻胶产品开发和生产的检测评估平台，同时建立配套完整的国产光刻胶产业链。（校对/小北）
