本文主要讨论了玻璃基三维封装技术及其相关关键技术。玻璃基三维封装技术主要包括热压扩散键合、阳极键合、SAB 与激光键合等技术。其中，热压扩散键合、阳极键合是玻璃基三维封装的核心技术，而SAB 是另一种技术，主要用于玻璃-玻璃-硅、玻璃-铜-硅-钙-硅-铜-钙-硅-钙-硅-铜-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-硅-钙-硅-钙-硅-钙-硅-硅-钙-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-硅-