上交所官网11月10日显示，青岛思锐智能科技股份有限公司（下称“思锐智能”）科创板IPO申请已获受理。招股书显示，公司拟募资不超过20亿元，用于半导体先进装备研发制造中心项目、高端半导体装备研发项目和补充流动资金。
聚焦ALD与IMP设备，关键技术实现突破
思锐智能主营原子层沉积（ALD）设备和离子注入（IMP）设备的研发、生产和销售，是国内极少数在原子层沉积设备和离子注入设备领域实现关键技术突破的高科技企业。
从产品看，公司ALD产品已形成Transform系列、TFS系列、P系列、空间ALD系列和Genesis系列等类型，覆盖集成电路、第三代半导体、光学、电池、显示器件等多个应用方向。IMP产品覆盖高能、大束流、中束流、氢离子、SiC等系列，其中高能机型突破8MeV能量级别，打破国际技术壁垒，相关产品已应用于国内先进存储制造产线。
商业化进展方面，2026年上半年，公司2台高能离子注入设备通过客户验收，实现收入5,075.35万元，占同期主营业务收入的27.16%；截至2026年6月末，另有13台离子注入设备在客户产线进行验证。
研发投入强度高，发明专利达314项
作为技术密集型企业，思锐智能持续保持较高研发投入。2023年至2025年，公司累计研发投入5.71亿元，占同期营业收入的47.32%。2026年上半年，公司研发投入11,584.15万元，占同期营业收入的61.05%，持续支持核心设备研发与产品迭代。
公司在中国和芬兰设有研发制造中心，境内研发团队承接海外技术基础并开展自主迭代。公司先后获评国家级专精特新重点“小巨人”企业、国家高新技术企业、山东省制造业单项冠军企业、山东省新型研发机构等荣誉称号，已形成可量产的ALD设备国产化替代能力和IMP设备从研发到量产的完整技术体系。
截至2026年6月末，思锐智能应用于主营业务并能够产业化的发明专利达314项。2023年至2025年，公司主营业务收入年均复合增长率达39.77%，持续的研发投入已开始转化为营收增长。
在手订单19.22亿元，募资扩产与研发并行
订单储备方面，截至2026年9月末，思锐智能ALD与IMP设备在手订单合计19.22亿元，其中ALD设备7.28亿元、IMP设备11.93亿元，为后续业务发展形成订单储备。
根据招股书，本次募集资金将用于半导体先进装备研发制造中心项目、高端半导体装备研发项目和补充流动资金。其中，半导体先进装备研发制造中心项目旨在扩充ALD和IMP设备的生产制造能力，提升产品交付效率，以满足下游客户需求增长；高端半导体装备研发项目聚焦超高能、氢氦离子注入设备及相关工艺研发，集成电路领域ALD新产品研发、现有产品持续改进，以及半导体设备关键零部件研发。
当前，中国大陆已成为全球半导体设备第一大市场。国内离子注入设备市场中，国产设备占有率合计仍不足6%，进口替代空间明确。思锐智能此次冲刺科创板，有望借助资本平台加速研发投入与产业化落地，进一步把握半导体设备国产化机遇。
