年产百套12英寸晶圆快速退火炉，泰兴先进半导体开工

（文/小如）12月4日，泰兴市举行第四季度重大项目集中开工仪式，共有27个亿元以上项目集中开工，计划总投资164.9亿元。

图片来源：泰州发布

其中，开工项目包括先进半导体高端装备项目、菱苏集成电路及半导体用超纯助剂项目等。

据悉，先进半导体高端装备项目总投资3亿美元，总建筑面积4.8万平方米，采用国际领先的12英寸晶圆产线关键装备去胶机和快速退火炉关键生产技术，建设2条高端装备生产线。项目建成后，可形成年产100台（套）12英寸晶圆快速退火炉设备和100台（套）去胶机高端设备的生产能力。年可形成销售收入4亿美元，税收3200万元。

菱苏集成电路及半导体用超纯助剂项目总投资1.5亿美元，总建筑面积3万平方米，主要新建车间、仓库、办公楼等建筑物，购置氢化反应器、催化剂进料器等设备692台（套）。项目建成后，可形成年产7万吨集成电路及半导体用超纯助剂、1.9万吨集成电路清洗剂及剥离液等的生产能力。（校对/小北）